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微機(jī)電系統(tǒng)中常用哪些類型的傳感器

: 問提問者：網(wǎng)友 | 2018-08-27

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微機(jī)電系統(tǒng)中的傳感器主要指機(jī)械式傳感器。包括：微加速度傳感器，微壓力傳感器，微角速度傳感器（微陀螺儀），微聲壓傳感器（微麥克風(fēng)），微懸臂梁式生化傳感器（包括靜態(tài)式，諧振式）（原理：生化反應(yīng)引起表面應(yīng)力變化及附加質(zhì)量效應(yīng)，從而導(dǎo)致微懸臂梁的靜態(tài)變形和諧振頻率變化）濕度傳感器，溫度傳感器，磁場(chǎng)傳感器等: 回答者：網(wǎng)友

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